多層膜ミラーへのHeパージ

Heパージ

　 （注意） 　作業にはX線カバーの開閉が必要です。X線発生時の防X線カバー開閉に伴う注意事項を確認して下さい。

1. Heボンベ（図1.3.1）の一次側バルブを開ける。
   ⇒ボンベ残圧を一次側圧力ゲージで確認（測定時間にもよるが3.0MPa以上）。
   
2. レギュレーターの圧力調整バルブで適切な二次側圧力（0.05〜0.06MPa程度）に調整。
   ＊二次側バルブは全開で良い。
   
3. 操作パネル“Door”を押した後、装置側面（向って左）の防X線カバーを開ける （参照「X線発生時の防X線カバーの開閉」）。
   
4. 流量コントローラ（図1.3.2）の切り替えバルブ“Mirror”をゆっくりと“Direct”にする。
   ⇒ 多層膜ミラーへHeがパージされる。
   
5. 数秒後、切り替えバルブを“Flow”に戻し、流量計“Mirror”の値（ボールの中心）が40〜50ml/minになるように流量を調整。
   ＊基本的にはレギュレーターの圧力調整バルブで二次側圧力を増減し、適切な流量にする。
   　必要に応じて流量計コントローラのつまみで調整。
   ⇒ 回折実験中は、このままスローパージを続ける。
   

（図1.3.1） Heボンベ・レギュレータ �@ 一次側バルブ、�A 一次側圧力ゲージ �B 圧力調整バルブ、�C 二次側圧力ゲージ �D 二次側バルブ

（図1.3.2） 流量コントローラ

参考：Heパージについて

　多層膜ミラーへのHeパージは、X線の減衰を防ぐのはもちろん、X線によるミラーの損傷を防ぐ上で重要（ミラーはかなり高価）。
　実験中にHeがなくならない様、十分に残圧があることを確認すること（16時間の測定で3.0MPa程度の残圧が必要）。
　また、測定中も流量をチェックし、必要に応じて二次側圧力の調整を行うなどの注意も必要。

　Heパージは結晶をマウントする前に実施する。
　マウント後に実施すると、結晶への霜付き、また結晶を壊すこともある。

　なお、現在（2008年4月）、Heパスは取り外しているが、念のためHeパスへのパージ手順も記述しておく。
　上述のミラーへのパージを行った後、以下の操作を行う。

1. 流量コントローラの切り替えバルブ“He-Path”をゆっくりと “Direct“ にする。
   　（注） 急激に“Direct“ に切り替えるとX線露光面の破損の原因になる。
   
2. 数秒後、バルブを“Flow”に戻し、ミラー同様に、“He-Path”流量を40〜50ml/minに設定。
   ⇒ 回折実験中は、このままスローパージを続ける。
   

Heパージ終了

　回折実験終了後、ボンベ一次側バルブ（図1.3.1�@）を閉め、圧力調整バルブ（図1.3.1�B）を“減”。

　なお、Heボンベの予備については、装置管理者（あるいは施設スタッフ）に確認し、必要に応じて注文する。