断熱真空層の排気
-
真空ポンプ(回折装置裏:小型のポンプ)のリークバルブ(図3.1.1)を締める。
-
冷ガス発生装置“PUMP”ボタン(図3.1.2A)を押す。
⇒ ボタン点灯、真空ポンプ起動。
-
クライオスタットのバルブ(図3.1.3)を“OPEN”。
冷ガス発生装置の起動
-
冷ガス発生装置“MAIN”ボタン(図3.1.2@)を押す。
⇒ 黄色点滅→黄色点灯(“REF STOR”(図3.1.2C)点灯)
⇒ 窒素ガスが流れ始め、流量計(図3.1.4)のボールが浮く。
-
流量計のつまみを回し、ガス流量を調節する。
*基本的に調節は不要(前回の流量が反映されている)。
調節が必要な場合はボール中心を以下の値に合わせる。
COLD FLOW:4.2(4.0〜4.5) l/min
SHEET FLOW:5.0(4.5〜5.0) l/min
(注) SHEET FLOWの流量を若干多めにする。
*1ヶ月以上使用していない時は、このまま10時間以上放置する。
温度設定
-
冷ガス発生装置コントローラの“MODE”(図3.1.2A)を押す。
-
“∧”キー(図3.1.2D)を押す。
⇒ 「MODE 1 RUN STATE」表示。
-
“SEL”キー(図3.1.2B)を2回押す。
⇒ 「NUMB SELECT 1」表示。
-
“∧”、“∨”キー(図3.1.2C)で希望の実行番号(温度)を選択。
*各実行番号には、以下の温度がメモリされている。
1: -180℃、2: -150℃、3: -100℃、4: -50℃、5: 0℃、6: +50℃
通常は、1(=-180℃)で良い。
-
“ENT”キー(図3.1.2E)を押す。
*任意の温度に設定も可能。詳しくは取り扱い説明書を参照。
コンプレッサ起動
-
冷ガス発生装置“REF. START”ボタン(図3.1.2B)を押す。
⇒ 温度低下が始まる。
*設定温度以下になるまで放置(-180℃設定で約2時間)。
*2時間後、設定温度に達しない場合、COLD FLOWを4.0 l/minに下げ、
さらに30分程放置。
-
冷ガス発生装置“HEATER”ボタン(図3.1.2D)を押す。
⇒ 温度上昇後、設定温度±0.1℃で安定。
|

(図3.1.1) 真空ポンプ・リークバルブ

(図3.1.2) 冷ガス発生装置パネル

(図3.1.3) クライオスタット・バルブ
図はバルブ“CLOSE”の状態。

(図3.1.4) 流量コントローラ
冷ガス発生装置の前扉を開ける。
|